访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展******

　　(第五届进博会)访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展

　　中新社上海11月6日电 题：访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展

　　中新社记者 李佳佳

　　元宇宙体验、光刻机“开箱”视频和H5虚拟课堂，备受外界关注的全球半导体行业供应商ASML在第五届中国国际进口博览会上，首次通过“元宇宙”平台，带来沉浸式的光刻体验，彰显前沿科技。

　　自1988年交付首台步进式光刻机以来，ASML进入中国市场已有三十余年，见证、亲历和支持了中国半导体产业的发展。

　　“今年是ASML第四次参展进博会，我们希望借助进博会的平台不断地展现开放共赢、合作发展的理念。”ASML全球高级副总裁、中国区总裁沈波表示：“ASML一直秉持开放与专注，以‘开放式创新’和对光刻技术的专注，持续支持半导体行业的发展。在进博会，我们可以与全行业甚至跨行业的企业和合作伙伴加深交流，共商合作前景。”

　　首次在进博会亮相的“ASML元宇宙”之旅给此间观展者带去了身临其境的独特体验。在ASML元宇宙空间里，观展者可以“亲身”进入无尘室，近距离接触神秘的光刻机，更可以结合影视级效果的3D裸眼视频，了解光刻机的内部基本原理——光源经过照明模组投向掩模版，再穿过掩模版上的电路图案，通过投影物镜将影像聚焦到晶圆上。“元宇宙”中还有生动的全方位光刻解决方案动画和丰富多样的科普视频，令观展者沉浸式了解更多有关ASML的故事。

　　“每年我们都会思考以什么样的形式参加进博会”，沈波说，去年，进博会的集成电路专区设立，凸显了外界对产业的关注和重视。希望未来在设立专区的基础上，能够增加宣传和引导，比如举办一些专题或者小论坛，以加深外界对行业的了解。

　　其实，除了光刻机，ASML在芯片制造的成像环节也会提供全方位的光刻解决方案，从光刻机设备本身到计算光刻软件，再到芯片生产过程的量测、缺陷的检查等，ASML均有涉猎。“我们更想跟大家讲讲怎么帮助客户在芯片生产的过程中，在我们的环节上做出足够大的工艺窗口，让芯片生产的质量、精度能够控制得更好，或者让客户的技术进步更顺畅地向前。这是我们今年进博会主要的出发点。”

　　当前，中国已是全世界最大的成熟制程市场，这俨然成为行业的共识。“中国在整个半导体产业链中扮演非常重要的角色，这是所谓‘不确定性中的确定性’。在这种确定的情况下，中国该怎么发展成熟制程，怎么把成熟制程做好，怎么在全球的半导体产业链里把自己重要的角色扮演好，从这个角度看，中国市场的潜力是很大的，中国有全世界最大的终端市场，最活跃的应用市场，终端市场、应用市场反过来可以推动上游设计、制造方面的发展创新。”

　　说起行业未来的发展，沈波坦言，半导体行业自身有一定的周期，有起有伏不是新鲜事。但是从半导体行业过去多年的发展和对未来的预期来看，整体向上的趋势是在的，“只要大趋势在，就会要求有更多的计算、更多的存储、更多新的应用支持，就会带动半导体行业的需求量向上”。(完)

北京市属公园35项文化活动闹元宵******

　　本报记者 代丽丽

　　“万户千家今夜好，张灯结彩闹元宵”。记者从市公园管理中心获悉，元宵佳节市属公园、国家植物园及中国园林博物馆准备了35项文化活动，邀请市民游客在公园里体验别样的节日乐趣。

　　各大公园都有灯谜

　　自古以来，元宵节便有观花灯、猜灯谜、品元宵的民俗传统，市属公园为游客准备了12场元宵民俗活动。

　　节日当天，北海公园在永安寺景区举办新春留“福”猜灯谜活动，在灯笼中写上谜语供游客观赏解答。中山公园将在南门广场举办元宵节主题活动，邀请游客猜灯谜、做灯笼。景山公园将在前山东、西主路、游客服务中心前设置灯谜架。北京动物园在正门广场设置传统灯谜，还将为答对谜底的游客送上精美礼品。

　　春节期间成为热门爆款的北京动物园“十二生肖”印章将在元宵节再次亮相公园鹈鹕商店，一次集齐十二款生肖印章，为元宵节增添满满的福气。陶然亭公园将在节日当天开展摇元宵、做花灯的民俗体验互动项目。紫竹院公园将在友贤山馆举办“上元灯会与猜灯谜”活动，线上线下同步进行。玉渊潭公园将在公园健康大道沿线举办“正月十五花灯俏 科普猜谜送福瑞”传统文化主题活动，游客还能参与蜡梅科普和文明游园趣味游戏等互动体验。元宵节当天，香山公园将开展“循迹探秘”之旅，参与者可一边徒步探秘一边了解公园历史文化，探寻古建风貌及园林景观。

　　国家植物园展出万余株兰花

　　在春节期间吸引大量游客前去观赏的中山公园“‘四季飘香’春兰展暨北京名人名兰展”“‘玉兔迎春’——传统精品花卉展览”，香山公园“碧云藏春 年年有‘鱼’——碧云寺盆景花卉展”“花香琴韵玉兔呈祥——香山公园迎春花艺展”，都将在元宵节当天继续迎接八方来客。国家植物园元宵兰花展将在北园热带展览温室及南园展览温室举行，200余种万余株兰花、年宵花将公园装扮成花的海洋。

　　多场精品展览即将收尾

　　喜欢展览的游客要抓紧时间来到市属公园，感受一波文化盛宴。颐和园“园说Ⅳ——这片山水这片园”展览、景山公园“紫禁之巅 亘古通今”历史文化主题展、陶然亭公园“传统民俗百科”展览、紫竹院公园“日出新卯 春暖兆福”——新春典籍文化展等多场精品展览将在2月、3月陆续落下帷幕，还没看过的游客可在元宵佳节来一次沉浸式体验。

　　冰场活动2月4日结束

　　市公园管理中心提示，市民游客请提前网络预约公园门票。市属公园冰场活动2月4日即将结束，陶然亭公园、紫竹院公园及玉渊潭公园的雪场还将持续到2月中下旬，游客朋友可在元宵节体验雪场娱乐活动。市属公园里的蜡梅也将在2月中下旬悄然开放，游客可体验“公园寻梅”的惬意。